삼성전자 화성공장 11라인에서 암모니아가 누출돼 5명의 노동자가 병원으로 이송되어 치료를 받고 있다. 11라인은 올해 1월과 5월에 불산이 누출되어 1명의 노동자가 사망한 라인이다. 지난 2월 고용노동부가 특별근로감독을 실시해 총 1,934건의 산업안전보건법 위반 사례가 확인한 이후 불과 5개월만의 일이다.
암모니아는 반도체 공정 중 증착공정(deposition), 연마공정(chemicalmechanical polishing)에서 사용된다. 반도체 공장에서는 웨이퍼 가공과정에서 생성된 웨이퍼 표면의 산화막 등을 화학적 또는 물리적 방법으로 연마하기 위해 암모니아를 비롯해 염산, 질산, 암모니아수, 수산화칼륨 등 다양한 화학물질을 사용하고 있다.
산업안전보건공단이 지난 2012년 9월에 펴낸 <반도체산업 근로자를 위한 건강관리 길잡이(이하 길잡이)>에는 습식식각·건식식각 과정에서 “불산, 황산, 암모니아수 등 산·알칼리에 노출될 수 있으므로 개인보호구를 착용하고 작업”해야 하며, 수동으로 습식식각을 하는 경우에도 암모니아에 노출될 수 있다고 전하고 있다.
심상정 의원(정의당, 국회 환경노동위원회)은 “고용노동부와 환경부는 삼성전자 화성공장 11라인에서 일하던 노동자들의 보호구 착용에 대한 조사부터 조사해야 할 것”이라며 “지난 불산누출 사고 시에도 보호구 착용이 얼마나 중요한 문제였는지를 상기해야 할 것”이라고 말했다. <길잡이>에서는 암모니아를 사용하는 공정에서는 호흡용 보호구, 보안경, 보호장갑, 보호앞치마 등 보호장구 착용하도록 권고하고 있다.
또한 <길잡이>에서는 암모니아의 경우 화학물질에 의한 화상을 경고하고 있다. 식각조에서 사용되는 “불산, 황산 등의 산류 및 암모니아수 등의 알칼리류에 접촉 시 화상”을 입을 수 있다고 적시해 놓고 있다. 또한 물질안전보건자료(MSDS)에서는 암모니아 노출 시 호흡기도 화상, 피부 화상, 눈 화상, 점막 화상 등을 초래한다고 밝히고 있으며, 암모니아는 질산, 황산 등과 같이 산업안전보건법상 특화물 3류로 분류된 독성물질이다.
심상정 의원은 “삼성전자 화성공장 11라인은 이미 2번의 큰 산업안전사고를 발생한 곳인 만큼 고용노동부와 환경부가 즉각적인 산업안전보건법, 유해화학물질관리법 등 관련법의 위반여부가 있는지를 철저하게 조사해야 한다”고 말했다. 아울러 “현재 부상자들이 사내병원에서 치료를 받고 있으므로 정부의 산업안전보건의가 이들의 건강상태 등을 면밀하게 파악해야 할 것”이라고 밝혔다. 지난 불산 누출사고와 같이 부상자들의 응급치료가 생명에 큰 영향을 끼칠 수 있기 때문이다.
2003년 냉동설비 판넬작업 중 암모니아가 누출돼 1명이 사망하고 2명이 부상한 사고가 있었고, 2007년에는 화물선 부두에서 냉동파이프가 터져 암모니아 가스 누출로 1명이 사망하고 5명이 가스에 중독된 사고가 발생된 바 있다. 또한 지난 4월 미국 텍사스 주의 한 비료공장에서 무수암모니아로 인한 폭발사고로 14명이 숨지고 200여 명에 가까운 부상자가 생긴 바 있고, 일본도 2006년 홋카이도에서 암모니아 냉동설비에서 암모니아가 누출돼 1명이 사망한 사고가 발생했다.
